12月6日，由泉州市丰泽区政府、365BET体育投注官网主办，区工业信息化和科技局、365BET体育投注官网机电学院、电通学院和科研处承办的《清源讲堂》第二十八讲在教学楼JA101学术报告厅开讲。本期讲堂邀请到了中国科学院电子学研究所、英国南安普顿大学访问学者马天军博士作《半导体微纳制造技术》主题报告。365BET体育投注官网科研处处长江学范、电子与通信工程学院院长邓一兵、机械与电气工程学院副院长张陈，以及学校师生代表共100余人到场聆听。讲座由江学范教授主持。

　　马天军博士从辉煌的真空电子管、横扫一切的半导体、半导体微纳制造技术、MEMS微纳的广阔未来四个方面来介绍半导体微纳制造技术，深入浅出，阐述了半导体微纳制造技术的广阔未来，以及学校发展愿景，干货满满，令大家受益匪浅。报告之后现场与师生还进行了问答互动，期待与马天军博士有更深层次的交流与合作，为学校、为泉州市集成电路创新与发展做出新成绩。

　　简介：

　　马天军，博士，项目研究员，英国南安普顿大学访问学者，中国科学院电子学研究所从事传感器微纳制造、超材料以及THz真空电子器件方面的研究，具有多年的MEMS中试平台运营和管理经验，先后主持和参加了国家重点研发、国家重大专项、科技支撑计划、863计划、国家自然基金项目、国防基础科研项目、中科院国防创新基金等多项研究课题。先后赴俄罗斯ALMAZ科研生产联合体和瑞士AGIE-CHARMILLE科技集团公司进行技术交流。工信部项目评审专家、中国机械工程学会和微米纳米技术学会高级会员，激光加工技术委员会专业委员以及中国光学、激光与光电子、强激光与粒子束等期刊的审稿专家。发表学术论文30多篇，申请专利30余项，撰写“GF”科技报告多份。

　　(来源：科研处)